真空镀膜机有那几部分

2020-12-22 14:56:52

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真空镀膜机主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜，包括多种，包括真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、离子束溅射等。主要思路分为蒸发和溅射。

真空室。

涂布设备主要包括连续涂布生产线和单室涂布机两种形式。表面进行不锈钢材料制造、氩弧焊和化学抛光处理。各种规格的法兰接口焊接在真空室组件上。

真空镀膜机

真空获得部分。

在真空技术中，真空获得部分是一个重要的部分。真空不是一个真空设备和方法可以达到的，必须同时使用几个泵，如机械泵、罗茨泵和分子泵系统。

真空系统的真空测量部分是测量真空室中的压力。像真空泵一样，没有真空计可以测量整个真空范围，所以人们根据不同的原理和要求制作了多种真空计。如热电偶表、电离表、皮拉尼表等。

电源部分。

目标电源主要包括DC电源、中频电源、脉冲电源和射频电源。常见的电源厂商有AE、ADL、Hottinger等。

工艺气体输入系统。

机械传动部分。

涂层要求周围厚度均匀，因此，在涂层过程中必须有三次旋转才能满足要求。即要求大工件台旋转(I)时，小工件承载台也旋转(II)，工件本身也可以同时旋转(III)。在机械设计中，大工件转盘的底部中心通常有一个大的主动齿轮，周围有一些小的行星齿轮。如果要实现产品旋转，通常用拨叉拨动工件旋转。