真空镀膜系统主要构成部分二

六、机械传动部件

涂装时，要求周围的厚度均匀一致，这样涂装时需要三个转动量才能满足要求。也就是说，当需要大的工件台转动(I)时，小的工件台也需要转动(II)，而且工件本身也可以旋转(III)。就机械设计而言，一般是在大工件盘底中心有一个大的活动齿轮，周围有几个小的星行轮与之啮合，若要实现产品自转，一般用拨叉来拨动工件。

七，加热和测温部件。

涂装设备一般采用不同位置的加热器，利用热电偶控制温度。但由于热电偶夹头与工件位置不同，温度读数不能作为实际工件温度。测量工件实际温度有多种方法，可在工件上安装高温试纸或热偶计。

离子蒸发和溅射光源。

多弧喷涂蒸发源一般是圆饼型，俗称圆饼型，也有长方形多弧喷涂。靶内装有磁体，通过前后移动磁体，改变磁场强度，可以调节弧斑移动速度和轨迹。为降低目标和靶座温度，需要在靶座内连续地注入冷却水。同时，为保证高导率和高导率热传导性，还可在目标与靶座之间设置锡衬垫。磁控制溅射膜通常采用矩形或圆柱形溅射阴极。

九、水冷却系统

通常包括冷水塔，冰水机，水泵等。

十工控系统。