真空镀膜设备是怎么镀膜的

2020-12-22 15:08:44

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根据应用领域的不同，镀膜机可分为电子枪蒸发式镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子式镀膜机、射频镀膜机等，但它们的结构基本相同，以光学镀膜机为例，其主要由三部分组成：真空体-真空腔，辅助排气系统(包括排气系统，测量系统)，蒸发系统(包括坩埚和旋转控制系统，电子枪)，成膜控制系统。

真空镀膜设备

真空镀膜设备是怎么镀膜的，该工艺是将材料在真空环境下加热镀到衬底上进行真空蒸镀。特别地，真空蒸镀是将薄膜覆盖的物质在真空中蒸发或升华，从而在工件或衬底表面上析出的过程。真空蒸镀一般采用铝膜作为镀层，但也可采用蒸发沉积方法形成其他镀层。但目前的镀膜机结构比较复杂，成本也比较高，不能完全适应工业化生产的要求，不利于降低镀膜产品的成本。

本系统是将真空镀膜系统与手套箱系统相结合，提供了一种手套箱式蒸镀一体机，该系统可以在高真空蒸镀室内完成薄膜蒸镀，样品的存放、制备及蒸镀后的样品检测均在手套箱内高纯惰性气体气氛下进行。

蒸镀与手套箱相结合，实现蒸镀、封装、测试全封闭生产，使整个薄膜生长过程和器件制备过程在可控环境气氛下高度集成，消除了大面积有机电路制备过程中大气环境不稳定因素的影响，保证了高性能、大面积制备有机光电器件和电路。

优点：生产效率高，有利于降低镀膜产品的成本。