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真空镀膜系统主要构成部分一

2020-11-12 16:35:48

真空室。

涂布设备主要包括连续涂布生产线和单室涂布机两种形式。表面进行不锈钢材料制造、氩弧焊和化学抛光处理。各种规格的法兰接口焊接在真空室组件上。

2.真空获得部分。

在真空技术中,真空获得部分是一个重要的部分。真空不是一个真空设备和方法可以达到的,必须同时使用几个泵,如机械泵、罗茨泵和分子泵系统。

3.真空测量部分。

真空镀膜系统

真空系统的真空测量部分是测量真空室中的压力。像真空泵一样,没有真空计可以测量整个真空范围,所以人们根据不同的原理和要求制作了多种真空计。如热电偶表、电离表、皮拉尼表等。

4.电源部分。

目标电源主要包括DC电源、中频电源、脉冲电源和射频电源。常见的电源厂商有AE、ADL、Hottinger等。

5.工艺气体输入系统。

工艺气体,如氩(氩)、氪(氪)、氮(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氢(H2)、氧(O2)等。通常由气瓶供应,穿过气体减压阀、气体截止阀、管道、气体流量计、电磁阀和压电阀,然后进入真空室。这种输气系统的优点是管道简单明了,容易维修或更换气瓶。涂布机互不影响。也有多台涂布机共用一套气瓶的情况,在一些大型涂布车间可能会看到。其优点是可以减少气瓶的消耗,统一规划布局。缺点是接头数量增加了漏气的几率。而且涂布机之间会相互干扰,一台涂布机的管道会发生泄漏,可能会影响其他涂布机的产品质量。此外,更换气瓶时,必须确保所有机器都处于非使用状态。


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