电子束真空镀膜机蒸发源蒸镀法介绍

电子束真空镀膜机挥发源蒸镀法，将蒸发原材料放进水冷钢坩锅中，立即运用电子束加温，使挥发原材料汽化挥发后凝固在基材表层涂膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种主要的加温方式和发展前景。电子束挥发摆脱了一般电阻丝加热挥发的很多缺陷，尤其合适制做溶点塑料薄膜原材料和高纯度塑料薄膜原材料。借助电子束负电子挥发的真空泵蒸镀技术，依据电子束挥发源的方式不一样，又可分成环状枪，直枪，e型枪和中空负极射线管等几类。

电子束真空镀膜机

环状枪是由环形的负极来发送电子束，经对焦和偏移后打在坩锅内使金属原材料挥发。它的构造较简易，可是输出功率和高效率也不高，大部分仅仅一种试验室用的机器设备，现阶段在生产制造的设备中早已不会再应用。

直枪是一种中心对称的直线加速枪，电子器件从钨丝负极发送，聚大细束，经阳极氧化加快后打在坩锅使得镀膜原材料溶化和挥发。直枪的输出功率从几百瓦至几百千瓦的都是有，有的可用以真空蒸发，有的可用作真空泵冶炼厂。直枪的不足之处是蒸镀的资料会环境污染枪身构造，给运作的可靠性产生艰难，与此同时发送钨丝上逸出的钾离子等也会造成膜层的环境污染，近期由西德公司科学研究，在电子束的出入口设定偏移电磁场，并在钨丝位置做成一套单独的抽真空系统软件而制成直枪的改善方式，不仅完全干便了钨丝对膜的环境污染，并且还有益于提升枪的使用寿命。

e型射线管，即270℃偏移的射线管摆脱了直枪的缺陷，是现阶段用的较多的电子束挥发源之一。e型射线管可以造成许多的功率，能溶化高溶点的金属，造成的挥发颗粒动能高，使膜层和底材融合坚固，涂膜的产品质量不错。缺陷是射线管规定较高的真空值，并必须应用负髙压，这种导致了机器设备构造繁琐，安全系数差，不容易维护保养，工程造价也较高。

电子束真空镀膜机中空负极射线管是运用低压，大工作电流的中空负极充放电造成的低温等离子电子束做为加温源。中空负极射线管用中空的钽管做为负极，坩锅做为阳极氧化，钽管周边配有輔助阳极氧化。运用中空负极射线管蒸镀时，造成的挥发正离子动能高，离化率也高，因而，涂膜质量好。中空负极射线管对真空系统的真空值规定比e型射线管低，并且是应用低压工作中，相对而言，机器设备较简易和安全性，工程造价也低。现阶段，在中国e型射线管和中空负极射线管早已取得成功地运用于蒸镀及等离子喷涂的设施中。枪的效率可达10几万千瓦，早已为机械设备，电子器件等工业生产镀出了各种各样塑料薄膜。