磁控溅射对镀膜的作用

2021-01-13 18:57:07

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磁控溅射是指电子与氩原子碰撞，电离出大量氩离子和电子，在电场作用下飞向衬底。它是一种利用高压电场激发产生等离子体的涂层材料，几乎适用于所有高熔点金属，因此比真空镀膜法成本更高。但与真空镀膜法相比，磁控溅射法具有镀膜层与基体层结合力强、镀膜层致密均匀等优点。

磁控溅射

真空镀膜的作用主要是赋予被镀膜件表面高的金属光泽和镜面效果，特别是在汽车灯罩中，其次是赋予涂层优异的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。根据产生和沉积蒸汽金属的不同方式，真空镀膜可分为热蒸发镀膜和磁控溅射镀膜两种工艺。其中，磁控溅射法因其涂层与基体的附着力强、涂层致密均匀等优点而具有更多的技术优势。真空镀膜技术是指在真空环境下，以气相的形式在材料(通常为非金属)表面沉积金属或金属化合物，属于物理气相沉积技术。因为涂层通常是铝、锡和铟等金属的薄膜，所以也称为真空金属化。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面。它以真空技术为基础，采用物理或化学方法，吸收电子束、分子束、离子束、等离子体束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备新技术。简而言之，金属、合金或化合物在真空中蒸发或溅射，以固化和固化在涂覆的物体上(称为基底和衬底)