真空镀膜机镀膜工艺怎么样

2021-01-03 16:28:32

次

真空镀膜机采用不同的镀膜工艺，其自动化控制系统也不尽相同，即使是相同的镀膜工艺，由于控制技术指标的不同，所采用的控制系统也不尽相同。微机自动控制系统、自动控制装置、工业自动化仪表、压力控制仪、真空计及某些自动控制元件等一般镀膜设备的基本构成，可以实现对真空镀膜设备的程序自动控制、转换镀膜过程、调整真空工艺参数等基本功能。

真空镀膜机

对真空镀膜机的控制系统进行选型时，必须能有效地满足真空镀膜设备及其工艺对控制的需要，注意真空镀膜设备的各种构造与自动控制系统的配合，要求自动控制系统结构简单，成本低，自动化程度不一定很高，但必须保证真空镀膜设备安全可靠，使用方便，易于维护。控制系统对自动控制装置及其部件、自动仪表的选择应合理。

负压镀膜是膜体在高温下蒸发到工件表面的结晶。因为空气对蒸发的膜体分子会产生阻力而与之发生碰撞，使得结晶体变得粗糙而无光，因此必须在高真空下使结晶体产生细密光亮，如果真空度不高，结晶体就会失去光泽，结合力也很差。利用磁场，加快中频磁控溅射靶对膜体蒸发的分子进行轰击，溅射出大量的目标原子，使中性目标原子(或分子)沉积在基底上，形成薄膜，解决了以往自然蒸发不能加工的膜体品种。由于高频高电流大，中频设备必须加入冷却水。当电流通过导体的时候，会产生集肤效应，电荷会聚集在导电表面，从而产生发热，因此采用中孔管做导体的中间加水冷却。