真空镀膜机成膜不均匀的因素

由于真空镀膜机必须能够保持工件的自转，因此工件在不同真空室之间的转移技术是制造具有三维分散零件的多室连续镀膜机的主要难点。目前，传动机构主要是在常规、广泛用于板带材表面涂装、在无工件旋转机构基础上发展起来的链式隧道传动机构。

链式隧道式连续输送机构是在传统板带表面涂布机中输送机构的基础上发展起来的对于真空镀膜设备制造商来说，生产没有难度市场上现有的三维分散件连续涂布机均采用该机型，国内已有多家企业申请了zhuanli。是链式隧道传动机构的结构设计图其传动过程是转盘A带动柔性金属钢带B转动，自转轴的轴套D焊接在柔性钢带上，并通过机械机构固定在转盘上同时，内齿固定盘F与自转轴C上的齿轮E啮合，保证其转动。柔性金属钢带B在G处可自由断开，从内齿固定盘F的H口直线运动到下一个真空镀膜室的工件架上。

链式隧道传动机构的缺点是1、真空室之间的连接阀需要尺寸较大，这样不同真空室之间的气氛容易相互交叉，从而降低镀膜质量、成品率等；2、要求高设计精度、由于结构灵活，加工水平容易匹配不准，导致传动失灵。真空镀膜机往复步进齿条推杆输送机的传动过程是固定在镀膜室的顶部或底盘上（与公转盘同一侧）和能够往复运动的齿轮g、齿条H－推杆机构依次实现将旋转的工件棒Am从真空室M的转台Jm传送到真空室n的转台Jn。齿轮、机架使用的动力是由电机实现的，电机的轴密封在真空室外。为了使自转的工件棒离开转盘进入下一个转盘，转盘和自转轴之间采用开放式连接，同时打开固定在镀膜室内并保持旋转的内齿轮板的相应位置，使自转的工件棒从镀膜室M转移到下一个镀膜室n。与链式输送机构相比，该机构为刚性输送，不存在啮合不准确的问题同时，由于所需的过渡空间较小，可以节省真空室之间阀门的开启和关闭时间、进一步减少不同真空室之间的气氛串扰。从而大大提高了涂覆过程的稳定性和可靠性、产量，降低能耗和成本等。

真空镀膜机成膜不均匀随着镀膜技术的发展，各种真空镀膜机逐渐出现无论哪种真空镀膜机，薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。现在，我们使用磁控溅射真空镀膜机来分析不均匀成膜的因素。涂布机泵送不均匀会影响涂布均匀性。基片干净很重要。真空镀膜前，应仔细清洗基底表面，去除工件上的油污、去污和脱水的目的。基板表面污染来源于加工和运输过程中附着在零件上的各种灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等，在潮湿的环境中，基板表面容易氧化，形成氧化膜吸收气体。对于这些污染物，可以通过脱脂或化学方法清洗。干净的基底不应直接放在室外，而应储存在封闭的容器中以减少污染。灰尘也会堆积在涂装室，所以要对涂装室进行清洁，烘烤脱气，将机器放在干净的环境中。注意扩散泵返油。涂料的原料有很多，比如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等，辅料、配方比例不一样，贴膜也不一样。这些都是真空镀膜机成膜不均匀的因素。