广东真空设备技术通用术语与技术（上）

2021-01-31 16:35:44

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广东真空设备通用术语与技术（上）

1.1真空镀膜：在真空中在基材上制膜的方法。

1.2基底。

1.3测试基板：在涂层开始、涂层期间或涂层之后用于测量和/或实验的基板。

1.4涂层材料：用于制备涂层的原材料。

1.5蒸腾数据：用于真空蒸腾的涂层数据。

1.6溅射材料：用于真空溅射的溅射材料。

1.7胶片材质：胶片的材质。

1.8蒸腾速率：给定时间距离内的蒸腾数据量除以时间距离

1.9溅射率：给定时间距离内的溅射数据量除以时间距离。

1.10沉积速率：在给定时间距离内沉积在基板上的数据量，除以时间距离和基板的表面积。

1.11涂层角度：粒子入射到基体上的方向与涂层表面法线之间的角度。

2技术

2.1真空蒸发镀膜：使镀膜数据发汗的真空镀膜过程。

2.1.1同时蒸腾：一种真空蒸腾过程，其中各种蒸腾数据通过几个蒸腾仪沉积在一个基质上。

2.1.2蒸腾场蒸发：将蒸腾场数据一起真空蒸腾到基材上进行蒸发（此技术应用于大面积蒸腾，以获得所需的膜厚分布）。

2.1.3反应性真空发汗：通过与气体反应获得所需薄膜化学成分的真空发汗。

2.1.4蒸腾仪中的反应真空蒸腾：与蒸腾仪中的各种蒸腾数据反应以获得所需化学成分膜数据的真空蒸腾。

2.1.5直接加热蒸腾：所有必要的蒸腾热是蒸腾数据（在坩埚内或不在坩埚内）自身加热的蒸腾。

2.1.6感应加热发汗：感应加热的发汗数据。

2.1.7电子束发汗：电子轰击加热的发汗。