真空蒸发设备由什么组成

真空蒸发设备由真空泵系统和真空室组成，其中真空泵系统由(超)高真空泵、低真空泵、排气管和阀门等组成。真空室配有蒸发源、晶体振荡器和掩模板等不可缺少的部件。多个用于放置有机材料的蒸发源设置在真空室中并左右移动，用于加热有机材料以将其蒸发并沉积在衬底上以形成薄膜。AMOLED面板需要蒸镀十层以上的有机材料。蒸发厚度和均匀性是核心指标，需要控制在纳米级精度，直接决定了OLED面板的发光效率、显示颜色和成品率。蒸发源作为蒸发的核心部件，其性能决定了蒸发过程中薄膜的厚度和均匀性，可视为蒸发设备的“心脏”。

有机涂层蒸发源:在有机成膜过程中，如何稳定控制蒸发速度，并长期保持连续蒸发，是批量生产设备上蒸发源设计的重要问题。在生产中为了控制TactTime，蒸发源的运行方式一般采用快门控制，蒸发源始终保持在设定的加热温度。当基板移动到指定位置时，蒸发源的快门打开，形成薄膜。当连续运行时，大量有机材料储存在真空蒸发系统中，以维持蒸发源的运行或使用自动填充机构，并且同样的设计考虑必须应用于金属电极膜形成过程。晶体膜厚监控法用于控制蒸发速度，在连续大规模生产过程中，为了保持测量精度，自动交换水屑的机制也是必要的。